AOI 光学检测系统



自动光学检查(AOI, Automated Optical Inspection) 为工业自动化有效的检测方法,使用机器视觉做为检测标准技术,大量应用于LCD/TFT、晶体管与PCB工业制程上,在民生用途则可延伸至保全系统。自动光学检查是工业制程中常见的代表性手法,利用光学方式取得成品的表面状态,以影像处理来检出异物或图案异常等瑕疵,因为是非接触式检查,所以可在中间工程检查半成品。